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NMW200 / NMW300-全自动晶圆切割贴膜减薄撕膜一体机
| 4”-8” / 8”-12”晶圆适用 全自动切割膜贴膜 全自动减薄膜撕膜 超薄晶圆处理能力 配置可翻转晶圆机械手 贝努利晶圆搬运技术 晶圆智能料篮内测绘 可选晶圆料盒直接上料 非接触晶圆校正 蓝膜、紫外线胶膜、预切割膜可选 工控机+Windows系统 SECS/GEM 或简易联网能力 与减薄抛光机自由联机能力 |
| 4”-8” / 8”-12”晶圆适用 全自动切割膜贴膜 全自动减薄膜撕膜 超薄晶圆处理能力 配置可翻转晶圆机械手 贝努利晶圆搬运技术 晶圆智能料篮内测绘 可选晶圆料盒直接上料 非接触晶圆校正 蓝膜、紫外线胶膜、预切割膜可选 工控机+Windows系统 SECS/GEM 或简易联网能力 与减薄抛光机自由联机能力 |
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